ITO 靶材
Indium Tin
Oxide Target
ITO靶材以磁控濺射等方式用于導(dǎo)電玻璃的制備。 ITO鍍膜具有導(dǎo)電性、對(duì)可見光的透明性以及對(duì)紅外線的反射性三個(gè)特性，其廣泛用于顯示屏、玻璃幕墻、觸摸屏、太陽能電池、雷達(dá)屏蔽、冰柜、防霧玻璃等產(chǎn)品，尤以顯示屏為大宗。
聯(lián)系我們ITO旋轉(zhuǎn)靶材 & ITO平面靶材
恒博通過獨(dú)立自主的研發(fā)，在與上下游廠商合作中,為ITO靶材國產(chǎn)化進(jìn)程做出了應(yīng)有的責(zé)任。
ITO 旋轉(zhuǎn)靶材
恒博具備燒結(jié)成型1000mm長度旋轉(zhuǎn)靶材能力，這項(xiàng)技術(shù)的突破，使得恒博在市場競爭中具備良好的相對(duì)優(yōu)勢。
ITO 平面靶材
恒博雙拼平面靶材(1325mm長)能夠滿足客戶以及市場需求的大尺寸、高密度、高焊合率特性。
獨(dú)立原材料生產(chǎn)線
擁有一條完整的獨(dú)立ITO原材料粉體制備生產(chǎn)線可以使恒博嚴(yán)格控制原材料產(chǎn)品質(zhì)量。經(jīng)過二次開發(fā)的全新粉體制備方法使恒博的ITO原材料粉體具有高純度以及高均勻性的特質(zhì)。
純度 ≥99.99%
一套完整的質(zhì)量檢測體系是保障產(chǎn)品質(zhì)量及穩(wěn)定性的重要環(huán)節(jié)。恒博在此項(xiàng)的投入完全按照行業(yè)檢測標(biāo)準(zhǔn)而購進(jìn)檢測設(shè)備。獨(dú)立的檢測管理體系使得恒博可以及時(shí)發(fā)現(xiàn)產(chǎn)品問題并解決，這不僅保障了客戶的權(quán)益，同樣大大加快了生產(chǎn)周期。
IGZO靶材、AZO靶材、氧化鋁靶材、氧化鋯靶材
恒博已成功研發(fā)出下一代ITO優(yōu)化替代產(chǎn)品以及產(chǎn)業(yè)鏈相關(guān)配套靶材，并同時(shí)在更多靶材領(lǐng)域投入研發(fā)。
獨(dú)立檢測體系
ITO的成品質(zhì)檢需經(jīng)過7項(xiàng)檢測。分別為產(chǎn)品批號(hào)、產(chǎn)品外觀、產(chǎn)品尺寸、強(qiáng)度寬度、純度以及電導(dǎo)率。檢驗(yàn)設(shè)備將會(huì)涉及密度測量天平、等離子體質(zhì)譜儀、全譜直讀等離子體發(fā)射光譜儀、X射線衍射儀、掃描電鏡等。
二十五年積累的大規(guī)模生產(chǎn)高純氧化物材料的技術(shù)及管理經(jīng)驗(yàn)
- ITO靶材參數(shù)
- 供貨標(biāo)準(zhǔn)
ITO靶材以磁控濺射等方式用于導(dǎo)電玻璃的制備。ITO鍍膜具有導(dǎo)電性、對(duì)可見光的透明性以及對(duì)紅外線的反射性三個(gè)特性。其廣泛用于顯示屏、玻璃幕墻、觸摸屏、太陽能電池、雷達(dá)屏蔽、冰柜、防霧玻璃等產(chǎn)品，尤以顯示屏為大宗。
恒博公司已建成2條涵蓋粉體生產(chǎn)、成型、燒結(jié)、加工、Bonding及廢靶回收的完整ITO靶材生產(chǎn)線，并成功研發(fā)出單塊長度可達(dá)1325mm的ITO雙拼平面靶材，該產(chǎn)品已通過國內(nèi)知名廠商的實(shí)際上機(jī)測試。
恒博公司ITO靶材已通過G8.5、G8.6、G10.5認(rèn)證并成為國內(nèi)知名TFT面板廠商供應(yīng)商。平面靶材和旋轉(zhuǎn)靶材產(chǎn)能均為15噸/月。
我們可以根據(jù)您的特殊需求，定制不同的靶材尺寸產(chǎn)品。
| 性能 Properties |
單位 unit |
標(biāo)準(zhǔn)值 Standard Value |
| 類型 Types |
wt% | In2O3:SnO2=90:10 In2O3:SnO2=93:7 In2O3:SnO2=95:5 In2O3:SnO2=97:3 In2O3:SnO2=98:2 In2O3:SnO2=99:1 |
| 單塊平面靶最大規(guī)格 Max Size of single Plane ITO |
mm | 1325x400x(6.2-12) |
| 單塊旋轉(zhuǎn)靶最大規(guī)格 Max Size of single Plane ITO |
mm | Φ135XΦ153~159X1000 |
| 相對(duì)密度 Relative Density |
/ | ≥99.8% |
| 體積電阻率 Volume Resistivity |
Ω·cm | 1.35x10-4 |
| 抗彎強(qiáng)度 Bending Strength |
Mpa | ≥150 |
| 純度 Purity |
/ | ≥99.99% |
| 失氧率 Oxygen Loss Rate |
/ | ≤0.5% |
| 雜質(zhì)元素 Impurity contents |
含量 (ppm) |
| Si | ＜10 |
| Fe | ＜10 |
| Ca | ＜10 |
| Na | ＜10 |
| Cu | ＜10 |
| Cr | ＜5 |
| Ni | ＜10 |
| 供貨標(biāo)準(zhǔn)表 | ||
| 標(biāo)準(zhǔn) | 平面ITO靶材 | 旋轉(zhuǎn)ITO靶材 |
| 密度 | ≥7.142 | ≥7.142 |
| 純度 | ≥99.99% | ≥99.99% |
| 功率密度 | ≥6W/cm2 | ≥5.4W/cm2 |
| 焊合率 | ≥98% | ≥98% |
| 尺寸 | 按圖紙標(biāo)準(zhǔn) | |
冀公網(wǎng)安備13043502000131號(hào)